レーザ顕微鏡（LM）

概要

レーザ光を用いた共焦点光学系（図1）により、視野全体に焦点の合った高解像度画像を得ることができます。数mm～数十μmの観察領域で、様々な材料の形状を非破壊で観察可能な装置です。

図1　測定原理  

特徴

蒸着などの前処理が不要で、大気中での観察が可能です。　また、３次元形状観察とともに、表面粗さや段差計測などの計測が可能です。

分析事例　1

 触針式粗さ計では測定が困難な柔らかい試料（図2）、凹凸の大きい複雑な形状の試料（図3）も、視野全体に焦点の合った画像を得ることができます。

分析事例　２

画像連結機能を用いて基板上の電子部品を1.5mm×3mmの視野で観察（図4）し、3D表示（図5）およびプロファイル計測を行いました。（図6）

レーザ顕微鏡を用いることにより、複雑な形状の試料でも、観察視野全体に焦点のあった画像と３次元データを得ることができます。