SEM-EDX による 異物の組成解析

概要

　SEMでは、試料表面上に電子線を走査させ、発生する二次電子や反射電子を検出して試料表面の形態を観察することができます。SEMに組み込まれたEDX（エネルギー分散型X線分析装置）を用いて、試料面への電子線の照射によって発生する特性X線を検出することにより、元素分析を行うことができます。
　また、面分析（マッピング）による組成分析も可能です。　

得られる情報

• 試料表面の元素及び組成分析
• 元素（B~U）の定性、定量
• 数μm領域の元素分布

性能

• 観察可能倍率：x100～300,000
• 分解能：1.5nm（15kV）

分析事例の紹介

　試料中の異物をSEMで観察し、EDXで定性、定量分析しました。

　EDXの分析結果より、異物1はSiを主成分とし、異物2は鉄の酸化物(鉄錆)からなる異物であることが分かりました。