デジタルマイクロスコープ

概要

光学ズームレンズ、高解像度カラーCCD、照明を組み合わせて画像を取り込み、液晶モニタ上で観察する顕微鏡の一種です。被写界深度が深いため、凹凸のある対象物も正確に観察できます。

特徴

表１　デジタルマイクロスコープと光学顕微鏡の比較

	デジタルマイクロスコープ	光学顕微鏡
被写界深度	深い（凹凸試料の観察が容易）	浅い
視野変更	ズームレンズによる	レボルバレンズによる
（倍率変更）	（目標を連続的に追う事が可能）
作動距離	長い	一般的に短い
（W.D.）	（異物の採取やマーキングが容易）	（倍率の高いレンズ程、W.D.が短い傾向）

分析事例　１

アルミ基板上のシミ観察

シミの拡大観察および分析箇所の特定などの目的でシミを撮影したい場合、肉眼で認められるシミが光学顕微鏡下では明瞭に観察できない事があります（図1）。

デジタルマイクロスコープの観察条件を最適化することで、アルミ基板上のシミを明瞭に観察できました（図2）。

分析事例　２

電子基板上はんだ箇所の観察および計測

被写界深度が深いので、レンズの傾斜やステージの回転を使い、様々な方向からの観察が可能です。

上からの観察（傾斜0°）では不明瞭なはんだ不良箇所を傾斜観察（傾斜45°）により明瞭に確認する事ができました（図3）。

例）

① 半径 56.4μｍ
② 角度 　137.1度
③ 長さ 　60.8μｍ

計測機能により電子基板上の回路配線を計測しました（図4）。