フラッシュメモリの断面観察 (FE-SEM／EDS)

概要

FE-SEMは従来のSEMに比べ、低加速電圧・高分解能での観察も可能です。また、付属のエネルギー分散型X線分析装置（EDS）により、数十ナノメートルの空間分解能で元素分析を行うことができます。

性能

分析事例の紹介

フラッシュメモリの断面をFE-SEMで観察し、EDSで元素分析を行いました。
下図のように、数十ナノメートルオーダーでの元素マッピングが可能です。

分析事例では、バリア材料のＴｉ，Ｎ、配線材料のW，Alなどの微細構造を元素ごとに明瞭に観察することができました。