イオンスパッタによる深さ方向分析 （ESCA、XPS）

概要

イオンビームによるスパッタとESCAによる表面の分析を交互に行うことにより、深さ方向における組成／化学状態分析をnmオーダーの分解能で分析できます。Arモノマーイオン銃およびArガスクラスターイオン銃（GCIB）を搭載したESCAでは、無機物および有機物の深さ方向分析が可能です。

分析事例

（1）無機単層膜の深さ方向分析（Arモノマーイオン銃）

Si基板上に100nmのSiO₂膜を形成したサンプルの深さ方向組成分析結果を図2に示します。
SiおよびOの組成が深さ方向で変化している様子が分かります。

（2）有機単層膜の深さ方向分析（GCIB）

PET上に1.2μmのポリスチレン（PS、図3）を形成した膜の深さ方向組成分析結果を図4に示します。GCIBを用いることにより、PS、PETの理論組成を維持したままスパッタが可能です。