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元素分析

ESCA

ESCA（XPS：X線光電子分光法）は、材料最表面（数nm）の元素組成および化学結合状態を評価する分析手法です。
元素組成だけでなく化学状態ごとの定量が可能なため、酸化膜や表面処理層の評価、表面汚染や異物の識別、表面組成の変化の把握に活用されています。

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GCIB-ESCAによる膜基板界面の分析 イオンスパッタによる深さ方向分析 （ESCA、XPS） 有機積層膜の深さ方向分析（ESCA (XPS)－GCIB）

全1件

X線光電子分光分析装置

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