有機膜の化学状態分析（ESCA（XPS）－GCIB）

概要

Ｘ線光電子分光分析装置（ESCAまたはXPS）は、表面数nmの元素及び化学状態を分析することが可能な装置です。高分解能スペクトルによる化学状態の分析事例を紹介します。

分析事例

ナフチルフェニルビフェニルジアミン（NPD、図2）及び、銅フタロシアニン（CuPc、図3）のC1s、N1s高分解能スペクトル結果をそれぞれ示します（図4～7）。

1）ナフチルフェニルビフェニルジアミン（NPD）

C1s高分解能スペクトル（図4）において、結合様式の異なる3種類のピークに分離できました。また、高エネルギー側に芳香族由来の(π-π^*)サテライトピークが検出されました。N1s高分解能スペクトル（図5）では、(π-π^*)サテライトピークが検出されないことから、共役環内にNが存在しないことが判ります。

【図4】 NPDのC1s高分解能スペクトル

2）銅フタロシアニン（CuPc）

C1s高分解能スペクトル（図6）において、3つのピークと（π-π^*）サテライトピークが検出されました。また、N1s高分解能スペクトル（図7）では、共役環内のN由来の（π-π^*）サテライトピークが検出されており、分子構造を反映したスペクトルが得られております。