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形態観察(SEM,TEM)の基礎 ~無機材料観察編~

内容
  • 電子顕微鏡(SEM、TEM)の特徴
  • SEMの分析事例と分析のポイント
     CMOSセンサーの断面観察と元素分析
  • TEMの分析事例と分析のポイント
     ファインセラミックス(ジルコニア)の微細構造と添加元素分布分析
     金属上の潤滑油被膜(潤滑膜)の潤滑剤分布解析
講師

(株)東ソー分析センター 東京事業部 解析G 中村 和人 微小領域解析(TEM)スペシャリスト

日時

2022年6月3日(金) 13:30~14:30

概要

SEM(Scanning Electron Microscope、走査電子顕微鏡)、TEM(Transmission Electron Microscope、透過電子顕微鏡)は高倍率で観察、元素分析ができる手法です。断面を作製し試料内部の元素分布を見ることもできます。
電子デバイスやセラミックス材料などの無機材料は機能発現のために様々な元素が使われており、その分布を捉えることが非常に重要です。本セミナーではSEM、TEMの観察事例に加えて元素分析の事例と分析のポイントを紹介いたします。

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