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質量分析

ICP-MS

ICP-MS（誘導結合プラズマ質量分析）は、超微量の無機元素を高感度に定量する分析手法です。
半導体材料などに含まれるppt（10⁻¹² g/g）レベルの微量元素まで測定可能であり、高純度材料の品質管理や不純物評価に利用されています。

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自動標準液添加装置を活用した高純度硫酸中の微量金属分析 超純水中の微量金属分析（ICP-MS） 有機化合物中微量金属の直接ICP-MS定量 難溶解性薄膜中の微量金属分析 固相抽出を利用した微量金属成分の分析（ICP-MS） 薄膜中の微量金属分析 （ICP-AES、GF-AAS、ICP-MS）

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トリプル四重極型ICP-MS

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