SEM-EDS(走査電子顕微鏡・エネルギー分散型X線分析)は、試料表面の微細な形態観察と元素分析を同時に行う分析手法です。
電子線照射によって発生する特性X線を利用し、試料の形状だけでなく、含有元素の種類や分布状態を評価できます。
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