SEM(走査電子顕微鏡)は、試料表面や断面の微細構造を高倍率で観察する分析手法です。
表面の凹凸、傷、付着物などの形態観察に加え、断面観察ではコーティング膜や積層構造の厚さ、空隙、割れ、接合状態などを評価できます。
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